バイトによる切削平坦化加工
サーフェースプレーナ
バイトによる切削平坦化加工のプロセス概要
バイトによる切削平坦化加工は、バイト（切削工具）を用いた単刃加工で、加工対象物を所定の厚さおよび表面粗さに仕上げる加工方法です。
バイトは加工対象に垂直になるように加工軸の外周に取り付け、加工軸ごと高速回転させます。バイトの高さを所定の高さで固定した状態で、加工対象をのせたテーブルを一定方向に送ることで、加工対象を所定の厚みに仕上げます。厚さ数mm以下の加工対象の面全体を数µm～数十µm除去し、平坦に加工します。
切削工具は一般的に加工対象の3倍以上の硬さが必要とされていることを考慮し、バイトによる切削平坦化加工では、ダイヤモンドバイトを使用しています。
加工の際、加工箇所の冷却と切りくずの除去を目的に、水（または純水）を吹き付けます。
使用する精密加工装置
フルオートマチックサーフェースプレーナ（バイトによる全自動切削平坦加工機）
加工対象の供給、搬送、洗浄機能が含まれており、加工対象をカセット単位で処理することができます。
セミオートマチックサーフェースプレーナ（バイトによる自動切削平坦加工機）
加工対象の供給、洗浄は人が行うタイプの加工装置です。
使用する精密加工ツール
バイト（切削工具）
バイトによる切削平坦化加工の主な加工対象
・延性材料（Au、Cu、はんだなど）の平坦化加工
・樹脂（フォトレジスト、ポリイミドなど）の平坦化加工
・樹脂と金属の複合材を一括で平坦化加工
・テープ基材の平坦化加工
